，在低于该温度的环境下使用、特别是重新启动真空设备有可能会对其造成严重的损坏，因此需要特别注意并提前采取相应措施。

　　如果真空设备所在的厂房温度低于零度，冷却水可能会在冷却盘管或通道内结冰，并发生胀裂，对于这种情况，请密切关注冷却水的进水温度，在温度过低时，可以适当调小冷却水的流量；有些冷却塔在室外而设备在室内的设备，室外的管路，特别是阀门等处，非常容易结冰堵塞，这种情况需要采取为室外管路缠绕防冻棉等措施，并密切关注通过设备的冷却水的流量。

　　在低温下，润滑油会变得特别粘稠，甚至发生结沙、结冰等，此时启动旋片泵会造成电机启动电流过大甚至烧毁、轴封撕裂损坏、联轴器损坏甚至转轴扭断等故障，在 5-10 摄氏度启动油旋片泵时，可以采取点动的方式给电几次后再让其连续运转；一定要避免在低于 5 摄氏度的环境直接启动油旋片泵，如果需要在低温下间歇的使用，可以让其持续运行以避免低温启动；也可以把泵放在温度比较高的室内一段时间后，启动并开启气镇运行半个小时以上，然后再转移到室外并立即启动。

　　罗茨泵、螺杆泵等真空泵一般采用甩油盘把油箱内的油甩到齿轮等处用于润滑，低温下油比较粘稠，强行启动会造成电机启动电流过大、轴封撕裂损坏等故障，即使能正常启动，在油温足够高之前，甩油盘无法将足量的油甩到齿轮，容易造成齿轮过度磨损，甚至因急剧发热而卡死。

　　涡旋干泵一般采取干式润滑的轴承，虽然不太明显，温度过低时启动仍然会有短时润滑不良、启动电流过大的问题。另外，涡旋干泵装配精度很高，因为其工作时动盘和静盘上的涡旋线需要始终保持一个很小的间隙；在超出要求的低温条件下，内部的间隙有可能会低于正常值，从而造成异响甚至摩擦损伤。

　　在低温下，分子泵的润滑油或润滑剂具有很高的粘度（低润滑作用），可能导致轴承润滑不良和分子泵启动电流过大。即使泵看起来启动正常，也可能会对轴承造成一定的损伤，长期来看，这将影响泵的可靠性。分子泵允许的最低工作温度一般是 5 摄氏度，在环境温度低于 5 摄氏度时，需要采取一定的加温措施，并最好采用软启动。

　　如上所述，检漏仪内部的油旋片泵或干泵、分子泵等都不能在低温下启动，好多的检漏仪也都在内部集成了温度传感器，在温度低于5 度时将无法启动，从而保护检漏仪。如果需要在温度较低的环境使用检漏仪，可以在室内温度比较高的环境下启动，工作半个小时以上再转移到室外并立即启动，如果工作环境的温度非常低，还可以采取包覆保温棉等保温措施。

　　真空计、真空泵及检漏仪内部很多的电子器件也无法承受低温，低温下通电会出现故障，这些设备建议不要在低温下使用，已经在使用的，尽量不要关机。